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半导体制造中的湿法清洗技术

湿法清洗即使用化学溶剂或者去离子水清洗 晶圆。 湿法清洗按照工艺方法可分为浸泡法和喷涂 法两种,如图 3 所示。 浸泡法是将晶圆浸入到装有 化学溶剂或者去离子水的容器槽中。 浸泡法是广泛 使用的一种方法, 尤其是针对一些比较成熟的节 点。 而喷涂法是将化学溶剂或者去离子水喷到旋转 的晶圆上以去除杂质的方法。 浸泡法可以同时处理 多个晶圆,喷涂法一个作业腔室只能同时处理一片 晶圆。 随着工艺的发展,清洗工艺的要求越来越高, 喷涂法的使用也越来越广泛。 1.2 干式清洗 顾名思义,干式清洗就是不使用化学溶剂或者 去离子水等物质,而是采用气体或等离子体等来进 行清洗的工艺。 随着技术节点的不断推进,清洗工 艺的要求越来越高 [9-10] ,使用的比例也在不断增加, 湿法清洗产生的废液也是大量增加。

蔣緯國

蔣中正與 戴季陶 是 義兄弟 ,兩人在日本同賃一室。 戴有一日本 護士 女友重松金子,重松為戴生下一子,便 過繼 給蔣,由蔣的 側室 姚冶誠撫養,即為蔣緯國 [4] 。 其稱蔣中正為「父親」,稱戴季陶為「親伯」 [5] 。 蔣緯國小時候在蔣中正安排下,拜戴季陶為義父 [6] :39 。 戴傳賢,字季陶,原籍浙江湖州,祖父一代移居四川廣漢,湖州人稱「義父」為「親伯」,蔣緯國從小除常隨侍蔣中正外,也常依親伯戴季陶膝前,接受教誨 [6] :39 。 蔣緯國第一次獲知生母是日本人,還是他的養母 姚冶誠 告訴他 [6] :57 。 可是養母只知道這些,於是蔣緯國身世就透露出神秘氣氛 [6] :57 。 他不斷捕捉資料,知道生母名叫金子,是一位 日本 平民 [6] :57 。

予報士のつぶやき 覚えてほしい南高北低型=高温

日本の南にある高気圧から北にある低気圧に向かって、暖かな空気が流れ込むため、気温が上がりやすくなる気圧配置です。 ... 夏は日本の南の ...

春節

Bân-lâm-gú ,是以 農曆 計算的 中國傳統新年 ,亦稱 正旦 、 正月朔日 ,其慶祝活動又俗稱 過年 、 度歲 等,是 漢族 四大傳統節日 之一。 從 明代 開始,華夏 新年 節慶一般要到正月十五日 元宵節 之後才正式結束活動,有些地方的新年慶祝活動甚至到整個 正月 完結為止。 辛亥革命 後,官方紀年標準由 農曆 改為 格里曆 。 華夏新年與 朝鮮新年 、 越南新年 、 琉球新年 和 明治維新 前的 日本新年 多數為同一日,而與 藏曆新年 、 蒙古新年 同日或差一天或一月。 受漢字文化圈影響,春節在 寮國 、 泰國 、 新加坡 、 馬來西亞 、 印尼 、 菲律賓 等有眾多華人聚居的 東南亞 地區也是重要的 節日 。

【金馬60】《窗外》相隔52年在台上映 林青霞從17歲的青澀到金馬終身成就獎

離拍攝《窗外》52年,這部林青霞首部作品終於在金馬影展正式上映。. 而林青霞在自己的散文作裡《窗裡窗外》描述,52年前拍這部作品時,她的片 ...

【小琉球】在地人都說比豬肉好吃的鐵甲魚,私房料理超肥美【愛玩 ...

紅鐵甲魚料理 - 澎湖帶回來的「紅鐵甲」,中文正式名稱『普拉斯林棘鱗魚』,屬於金鱗魚科,因為小女愛吃魚眼睛,所以到貨後馬上料理來吃,為什麼查網路資料都說 ...,澎湖帶回來的「紅鐵甲」,中文正式名稱『普拉斯林棘鱗魚』,...

耳洞趨勢+耳環款式推薦!打耳洞前先了解不同位置的耳環搭配技巧

View full post on Instagram 耳洞位置選在耳垂與耳骨之間,以連續穿洞的方式營造出視覺豐富度。 這種款式適合以單調不浮誇的款式為主,才不至於讓人眼花撩亂。 View full post on Instagram 簡單線條的耳環款式,就很適合耳垂到耳骨之間的耳洞位置搭配,利用不同線條,就能呈現出層次質感。 廣告 - 內文未完請往下捲動 View...

龍寶寶取名要注意什麼?取名字宜忌、字根部首公開,取錯恐苦命|MamiBuy編輯部

2024年誕生的龍寶寶,該怎麼取名? 「生肖姓名學」也是不少人取名時會採用的方法之一,命理老師呂子平、起名網皆分享龍寶寶取名的宜用與禁用字,提供給新手爸媽參考,不要再為了取名而傷透腦筋! 龍寶寶宜用字根 龍寶寶忌用部首 (以上參考資料: 起名網 、 呂子平 )

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